微机械元件应用
微机械器件的上风在于大批量出产时本钱低廉,产品的机能- 价格比显著优于传统器件。目前具有广阔市场的应用领域包括:
1、多功能绝对压力传感器
石油危机和人们对环境保护的要求,使汽车制造商必需改进油料燃烧的经济性,进步汽车单位重量油料的行程,改善汽车尾气质量。基本的方法是严格控制燃料与空气的比例。这种控制系统的枢纽元件为多功能绝对压力传感器。1995年这种传感器产量为二千五百万件。
2、医用压力传感器
在使用微机械传感器以前,丈量血压用的是可靠性较低的普通压力传感器。这些传感器在使用前须不乱化和标定,测血压的用度较高。
汽车用多功能硅压力传感器研制成功,激励人们成功地开发出医用压力传感器,这种医用传感器使用前不需标定和不乱化,使用用度很低,在严峻的疾病的诊断和治疗枣如心脏手术等医疗中得到广泛应用,1995年产量为一千八百万件[2,3]。
3、加速度传感器
九十年代初,硅加速度传感器已由实验研究转入实际应用,应用于汽车车祸传感和刹车及安全汽囊开释控制系统。95年年产量逾五百万件[4]。在过去的二十中,固然美国因为汽车数目增加车祸的数目增加了75%,而车祸死亡率却减少了50%。这与微机械加速度传感器在汽车中的应用有很大的关系。
参考:霍尔电流传感器 http://www.njtxck.com/
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